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新葡官方网站5HQ-MF系列中频电源，是广泛应用在太阳能电池制造和真空镀膜过程中，等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）镀膜工艺上的特种电源。输出有单通道、双通道等方式，每通道功率可达15kW~60kW，可以输出多种电压波形（如方波、阶梯波、双极性脉冲波），满足不同镀膜工艺要求。

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